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CVD高真空快速退火炉

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  • 型号 H-CVD-1200R
  • 品牌
  • 厂商性质 其他
  • 所在地 上海

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更新时间:2023-12-22 12:06:28浏览次数:177

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产品简介

一、概述:这款配置的高真空CVD系统集快速红外加热炉,2通道气路系统和真空系统组成

详细介绍

一、概述:

     这款配置的真空CVD系统集快速红外加热炉,2通道气路系统和真空系统组成。真空系统采用中科科仪FJ-110机组。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。本套系统用于CVD退火,也可以应用于于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

 

二、主要技术参数

快速红外加热炉

电压

AC3800V    50/60Hz

功率

24KW

加热区长

400mm

使用温度

1100

工作温度

1000

升温速率:

300/min

温控系统

PID自动控制晶闸管(可控硅)输出功率, 30段可编程控制器,

恒温精度

±5

石英管

Φ50/60/80100*1400mm

两路质量流量控制系统

 

电压

185~245V/50Hz

输出功率:

18W

流量计标准量程

300SCCM

工作温度:

5~45 oC

工作压差:

0.10.5 MPa

压力:

3Mpa

准确度:

±1.5% FS

真空系统

 

产品型号:F-100/150型涡轮分子泵

厂家: 中科科仪

技术参数:

抽速速率(l/s)150

进气口法兰:LF100(ISO-K)

排气口法兰:KF25

压缩比:N2: 108  H25X10102

建议启动压强:<100pa

额定转速(rpm):42300

启动时间(min):≤2

冷却方式:风冷

冷却温度(℃):≤25

安装方式:水平或者垂直

重量:8kg

2.2干泵:

产品型号:GWSP300

厂家:沈阳纪维,

技术参数:

极限真空度 Pa 2.60

排气速度 l/s 4.30

      m3/h 15.5

噪音值 dB(A) 60

漏率(排气口和气镇阀关) Pa·m3/s 1×10-8

/排气压力 MPa 0.1 /0.13

/排气口尺寸 KF25/KF16

工作环境温度  540

冷却方式 风冷

单相电机 功率 0.55

电压 V      200230V, 50Hz

转速 rpm 1425(50Hz)

接头形式 国标、

转速 rpm 1425(50Hz)

外形尺寸  495×305×355

净重 单相 kg 27

其他 带气镇阀

电阻真空计:

测量范围:(1.0x105~1.0x10-1)pa

配备规管:ZJ-52T(可选择接口)

测量路数:1

显示方式:LED数码显示或双显(可选)

电源:AC220V±10%50HZ

攻耗:20W

重量:≤1KG

机箱尺寸:96*96

控制路数:2路(可扩展)

控制范围:(1.0x105~1.0x10-1)pa

控制方式:点控或区域控制

控制点负载能力:AC220V/3A无感负载

测量精度:±30%

响应时间:<1S

模拟输出:(0~5V;(4~20mA(选配)

通讯接口:RS-232RS-485(选配)

法兰及支撑

 

304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等

可选配件

混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等。


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