详细介绍
一、概述:
这款配置的高真空CVD系统集快速红外加热炉,2通道气路系统和真空系统组成。真空系统采用中科科仪FJ-110机组。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。本套系统用于CVD退火,也可以应用于于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
二、主要技术参数
快速红外加热炉 | 电压 | AC3800V 50/60Hz |
功率 | 24KW | |
加热区长 | 400mm | |
使用温度 | 1100℃ | |
工作温度 | ≤1000℃ | |
升温速率: | ≤300℃/min | |
温控系统 | PID自动控制晶闸管(可控硅)输出功率, 30段可编程控制器, | |
恒温精度 | ±5 | |
石英管 | Φ50/60/80100*1400mm | |
两路质量流量控制系统 | 电压 | 185~245V/50Hz |
输出功率: | 18W | |
流量计标准量程 | 300SCCM | |
工作温度: | 5~45 oC | |
工作压差: | 0.1~0.5 MPa | |
压力: | 3Mpa | |
准确度: | ±1.5% FS | |
真空系统 | 产品型号:F-100/150型涡轮分子泵 厂家: 中科科仪 技术参数: 抽速速率(l/s):150 进气口法兰:LF100(ISO-K) 排气口法兰:KF25 压缩比:N2: 108 H2:5X10102 建议启动压强:<100pa 额定转速(rpm):42300 启动时间(min):≤2 冷却方式:风冷 冷却温度(℃):≤25 安装方式:水平或者垂直 重量:8kg 2.2干泵: 产品型号:GWSP300 厂家:沈阳纪维, 技术参数: 极限真空度 Pa 2.60 排气速度 l/s 4.30 m3/h 15.5 噪音值 dB(A) ≦60 漏率(排气口和气镇阀关) Pa·m3/s 1×10-8 进/排气压力 MPa 0.1 /0.13 进/排气口尺寸 KF25/KF16 工作环境温度 ℃ 5~40 冷却方式 风冷 单相电机 功率 0.55 电压 V 200~230V, 50Hz 转速 rpm 1425(50Hz), 接头形式 国标、 转速 rpm 1425(50Hz), 外形尺寸 : 495×305×355 净重 单相 kg 27 其他 带气镇阀 电阻真空计: 测量范围:(1.0x105~1.0x10-1)pa 配备规管:ZJ-52T(可选择接口) 测量路数:1路 显示方式:LED数码显示或双显(可选) 电源:AC220V±10%50HZ 攻耗:20W 重量:≤1KG 机箱尺寸:96*96 控制路数:2路(可扩展) 控制范围:(1.0x105~1.0x10-1)pa 控制方式:点控或区域控制 控制点负载能力:AC220V/3A无感负载 测量精度:±30% 响应时间:<1S 模拟输出:(0~5)V;(4~20)mA(选配) 通讯接口:RS-232;RS-485(选配) | |
法兰及支撑 | 304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等 | |
可选配件 | 混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等。 |