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详细介绍
产品特点：
1、面积大：0~Ø25毫米、0~Ø50毫米；
2、溅射样品表面膜层更均匀；
3、颗粒度更小（3nm左右）；
4、溅射到样品表面能量低，对样品损伤小；（适用温度敏感性高的样品）
5、可以溅射各种固体靶材（如各种金属、陶瓷、碳等）；
6、控制精度高，实验结果精准可控重复性高；
7、在同一真空腔内，可实现清洗和镀膜，降低污染样品造成的数据偏差 ；
8、加入特殊气体，可进行反应离子束刻蚀；
9、可实现的功能有：等离子清洗、镀膜等；
10、数字化自动控制系统。
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