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美国bioforce公司紫外臭氧清洗机(UVOzoneCleaner)主要有两款型号:UVOzoneCleaner-ProCleaner™Plus、UVOzoneCleaner-ProCleaner™,主要用于去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物
美国bioforce公司紫外臭氧清洗机(UV Ozone Cleaner)主要有两款型号:UV Ozone Cleaner-ProCleaner™ Plus、UV Ozone Cleaner-ProCleaner™,主要用于去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。
技术性能
u 紫外灯类型:石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大于5000小时。
u 紫外线强度:14.76Mw/cm2@253.7nm(1cm距离)。
u 安全联锁和指示灯;内置的安全联锁开关,当抽屉打开时会自动关闭紫外灯以避免紫外线接触。
u 高强度UV灯源:波长185nm/254nm。
u UV反射罩有效范围:125x150mm。
u 抽屉式样品台。
u 样品台尺寸:115x134mm。
u 可吸收紫外线的石英样品基座盘尺寸:102x102x19mm。
u 抽屉样品台与紫外灯距离:30mm。
u 样品基座与紫外灯距离:10mm。
u UV灯管尺寸:100x125mm。
u UV灯电源:4000V,30mA。
u 机械定时器,长可定时运行时间60分钟。
u 大处理样品高25mm。
u 外形尺寸:241.3x250x152.5mm。
u 重量:4.08kg。
u 欧盟CE认证。
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