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超高真空排气台

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更新时间:2024-05-30 10:58:07浏览次数:104

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产品简介

应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃等光电子玻璃产品的制造。

详细介绍

  应用领域

  应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃等光电子玻璃产品的制造。

  技术性能

  1.工位接口数量:6-20工位;

  2.极限真空度:抽排的工件极限真空度10-8Pa;

  3.无油污染:采用无油机械泵与分子泵,避免油蒸汽对工作环境的污染;

  4.烘烤:烘箱加热,烘烤温度可达到200℃且具有温度显示和可调功能;

  5.工位处配置充N2接口,使在卸下工件时能够充入N2保护。

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