中高温集热管镀膜生产线

　　一、设备特点：

　　Φ70x4060集热管镀膜生产线，产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段，依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室；产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统，工装架装载量20只（Φ70）；工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成，在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热，加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶，接直流电源用于沉积底层金属，工艺2室配2对孪生靶接中频电源；沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层；系统除装卸件外，均自动运行，自动化程度较高，满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。

　　二、性能参数：

　　1. 生产线尺寸：36655(L)X17500(W)X7000(H)

　　2. 集热管尺寸：直径范围Φ70-120, 长度4060；

　　3. 集热管性能：吸收率≥95%  发射率 ≤9%（300℃）；

　　4. 设备产能：5万支/年（20只装）；

　　5. 极限真空：8x10-4Pa，本底真空：3.2x10-3Pa；

　　6. 工艺加热温度（预处理室、工艺1室）：300℃ 铠装加热组件；

　　7. 磁控靶位：工艺1室：2只；工艺2室：2对孪生靶；

　　8. 磁控电源：直流  2套     中频   2套；

　　9. 真空系统：分子泵/前级机组+罗茨粗抽机组；

　　10. 工艺气体：3路，MFC；反应气体6段供气，各独立可控；

　　11. 随行工装架数量：6套（20只装）；

　　12. 真空腔室隔离阀：Φ1500气动插板阀  4套；

　　13. 控制系统：PC+PLC控制模式，自动/手动/修理调试功能转换；多种工艺参数储存，多种互锁安全保护；

　　14. 系统水电气：总装机功率：约830KW

　　冷却循环水量：80-100M3/H

　　压缩空气耗量：2M3/H