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详细介绍
一、应用领域：
该设备可沉积单金属、合金、及多种介质膜，多层膜;主要用于Φ150-Φ500轮毂型金属、非金属零件表面沉积各类功能膜(耐磨、防腐、导电膜、绝缘膜等)的研发和小批生产。
二、性能参数
1. Φ1000x700水冷真空腔体，侧开门，样品架公自转;
2. 顶部和侧面布置有溅射靶位8个;
3. 6″直流靶6只，每只各配3KW直流电源1套;
4. 6″射频靶2只，各配1.5KW射频电源1套;
5. 系统配考夫曼离子源用于工件清洗;
6. 腔室可加热，加热温度300℃。
7. 极限真空：5x10-4Pa。
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