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详细介绍
VacIon Plus 500
VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以速度和容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10-8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
特性
- 单元室采用优化设计，可限度提高排放强度和抽速
- 离子泵在真空状态下运输
- 具有宽广的抽速范围（从 0.2 l/s 至 1000 l/s）
- 可提供多种泵体配置
- 联锁的真空密封穿导件连接方便，并可避免腐蚀和限度缩小泵的总体尺寸
- 三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
- 专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
性能指标
技术指标
| | StarCell® | 改进型二极离子泵 | 二极泵 |
| 氮气名义抽速 (*) (L/s) | 410 | 440 | 500 |
| 在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命（小时） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 启动压力 (mbar) | ≤ 1x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
| 极限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽气口法兰 | 8 英寸 CFF (NW 150) AISI 304 ESR | ||
| 烘烤温度 (℃) | 350 | ||
| 重量，kg（磅） | 120 (264) | ||
抽速与进气口压力关系
外形图
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