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详细介绍
TwisTorr 84 FS
TwisTorr 84 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 技术对小分子气体（如氢气和氦气）能提供高压缩比，从而实现大抽气量和高前级耐压，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
特性
- 创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统占用空间。
- 高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
- 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
- 的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
- 铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。
性能指标
技术指标
| 抽速 | KF 40 | CFF 2.75 英寸 | ISO 63，CFF 4.5 英寸 | |
| 氩气 | 44 L/s | 57 L/s | 66 L/s | |
| 氮气 | 49 L/s | 56 L/s | 67 L/s | |
| He | 38 L/s | 46 L/s | 63 L/s | |
| 氢气 | 36 L/s | 40 L/s | 53 L/s | |
| 全转速气体流量（与推荐前级泵一起使用） | 风冷（25 ℃） | 水冷（25 ℃，65 L/h） | ||
| 氮气 | 100 sccm | 100 sccm | ||
| 氩气 | 70 sccm | 70 sccm | ||
| 压缩比与前级耐压 | 压缩比 | 前级耐压 | ||
| 氩气 | > 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
| 氮气 | ≥ 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
| He | 2.0 x 106 | 大于 12 mbar | ||
| 氢气 | 5.0 x 104 | 大于 4 mbar | ||
| 采用推荐前级泵的极限真空 (5 m3/h) | 小于 8.0 × 10-10 mbar（小于 6.0 × 10-10 Torr） | |||
| 抽气口法兰 | CFF 4.5 英寸，ISO 63 | |||
| CFF 2.75 英寸，KF 40 | ||||
| 前级管道法兰 | KF16 | |||
| 转速 | 81000 rpm（1350 Hz 驱动频率） | |||
| 启动时间 | 小于 2 分钟 | |||
| 推荐的前级泵 | 机械： | Agilent DS-42/102 | ||
| 干式泵： | Agilent SH-110/IDP-3 | |||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 操作环境温度 | 5 ℃ 至 35 ℃ | |||
| 空气的相对湿度 | 0 至 90%（非凝缩） | |||
| 烘烤温度 | 进样口法兰温度 80 ℃（ISO 法兰） | |||
| 进样口法兰温度 120 °C（CFF 法兰） | ||||
| 润滑油 | 持久润滑 | |||
| 冷却要求 | 气流温度：（环境温度为 5 至 35 ℃） | |||
| 水（如果环境高于 35 ℃，需强制水冷） | ||||
| 水温： | 15 ℃ 至 25 ℃ | |||
| 最小流量： | 65 L/h (0.30 GPM) | |||
| 柱压： | 2 至 4 bar（45 至 75 psi） | |||
| 噪声声压级 | 1 米内全转速时，小于 40 dB(A) | |||
| 储存温度 | -40 ℃ 至 70 ℃ | |||
| 高度： | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅） | 泵用 ISO 63 法兰 | 2.05 kg | ||
| | 泵用 CFF 4.5 英寸 | 3.50 kg | ||
| | 泵用 CFF 2.75 英寸 | 3.34 kg | ||
| | 泵用 KF 40 英寸 | 2.37 kg | ||
| 符合规范 | EMC | 61326-1 | ||
| | 安全 (CE/CSA) 法规 | DIR 2006/42/CE | ||
| | ROHS | DIR 2011/65/EU | ||
抽速曲线图
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