制氧机的发展历史
首先，1958年，Skarstorm申请并应用此技术分离空气。同时，GerindeMontgareuil和Domine也在法国申请。两者的差别是，Skarstorm循环在床层吸附饱和后，用部分低压的轻产品组分冲洗解吸，而Gerin-Domine循环采用抽真空的办法解吸。
1960年大型变压吸附法空气分离的工业化装置建成。
1961年用变压吸附分离工艺从石脑油中回收高纯度的正构烷溶剂，并命名为Isosiv过程，1964年完善了从煤油馏分中回收正构烷烃的工艺。
1966年利用变压吸附技术提氢的四塔流程装置建成，20世纪70年代后采用四塔以上的多塔操作，并向大规模、大型化发展。
1970年又建成分离和回收氧的工业化装置，用于环保工业污水处理生化的需要。同时被广泛用于从石脑油中提取正构烷烃，再经异构化，将异构化产物加入汽油馏分中，以提高其辛烷的Hysomer过程。
1975年试制成医用富氧浓缩器，1976年开发了用碳分子筛变压吸附制氮的工艺并工业化，随后采用沸石分子筛抽真空制氮工艺。到1983年德国推出性能优良的制氮用碳分子筛。到1979年为止，约有一半的空气干燥器采用Skarstrom的变压吸附工艺。变压吸附用于空气或工业气体的干燥比变温吸附更为有效。1980年开发了快速变压吸附工艺（又称为参数泵变压吸附）。
从20世纪90年代起，由于电能紧张，变压吸附制氧又在炼钢等领域占有了一席之地。
