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无锡冠亚恒温制冷技术有限公司>>元器件高低温测试装置>>蚀刻机用冷水机>>AES-4535工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

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参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号 AES-4535
  • 品牌 其他品牌
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地 无锡市

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更新时间:2021-03-25 14:11:47浏览次数:551

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产品简介

产地 国产 产品大小 小型
产品新旧 全新 结构类型 密封式,立式
结构类型 密封式,立式 温度 常温冷水机
元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

详细介绍

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

  一、光刻机冷却系统冷水机的使用注意事项:

  1)光刻机冷却系统冷水机组的正常开、停机严格按照光刻机冷却系统冷水机厂家提供的操作说明书的步聚进行操作。

  2)机组在运行过程中,应及时、正确地做好参数的记录工作,如出现报警停机,应及时通知相关人员对机组进行检查,如无法排除故障,可以直接与光刻机冷却系统冷水机厂家联系。

  3)机组在运行过程中严禁将水流开关短接,以免冻坏水管。机房应有专门的工作人员负责,严禁闲杂人员进入机房,操作机组。

  4)机房应配备相应的靠谱防护设备和维修检测工具,如压力表、温度计等,工具应存放在固定位置。

  二、光刻机冷却系统冷水机组停机注意事项

  1)机组在停机后应切断主电源开关。在停机时期间,应该将机组全部遮盖,防止积灰,与机组无关的人员不得接触机器。

  2)如机组处于长期停机状态期间,应将冷水、冷却水系统的内部积水全部放净,防止产生锈蚀。水室端盖应密封住。

  3)机组长期停机时,应做好维修保养工作。

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