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天津玛福尔科技有限公司
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产品详情多路质子控制供气系统描述：气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口
产品详情 多路质子控制供气系统描述： 气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。每一条气体管路均有一个高压截止阀。
多路质子控制供气系统技术参数： 1.气路通道：多通道（可根据客户需要确定） 2.流量计标准量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意选择量程) 3.工作电压：220V 50HZ 4.工作温度：5-45℃ 5.工作压差：0.1~0.5MPa 6.额定压力：3MPa 7.准确度：±1.5%F.S. 8.控制面板：每路气路设定和查看都集中在PLC触摸屏上可通过PLC设定每个通道的气体流量，实时查看各通道的流量曲线和设定数据 9.测量范围：0.1MPa-0.15MPa 10.混气罐：304不锈钢 11.进出气接口：采用Φ6不锈钢卡套接头 12.连接管道：内部连接管道为1/4"不锈钢管 外部通气管道为1/4"聚四氟管 |
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