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山东东南仪诚实验室设备有限公司
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型号PM100等离子发生源低频高电压电源
| 型号 | PM100 |
| 等离子发生源 | 低频高电压电源，输出约100W，周波数60KHz、输出电压10kV |
| 电机构造 | 电容型 2分割 |
| 气体流量计 | 氧气用、流量30～300mL/min |
| 真空调整阀门 | 抽真空用，回大气用 |
| 反应腔尺寸 | 内径100mm×深度约200mm |
| 外形尺寸（宽×深×高mm） | 310×300×448 |
| 电源 50/60Hz | AC100V 10A（含真空泵Max7A） |
| 真空泵接口 | 外径Φ6.35mm（推荐真空泵排气速度30L/min） |
| 气体接口 | 外径Φ6.35mm |
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