在废水的生物处理过程中生产的 污泥日益成为一个很重要的问题，因为通过土地填埋或者农业回用处理的污泥量是有限的，所以需要研究污水处理厂生产的污泥的处置方法。臭氧氧化是一种很好的污泥减量化技术，它通过氧化固体颗粒物，提高    污泥的可生化性，来减少污泥的量^{60 ，，}65 。尤其对于厌氧生物处理系统中产生的污泥特别有用，因为厌氧生物处理系统产生的污泥的可生化性特别低。正常臭氧投加产量为：0.050g O₃/gSS--0.100 g O₃/gSS，有报导表明，在一些特殊的情况下投加一定的量（0.136 g O₃/gSS）的臭氧可以达到污泥零产量。这种工艺是在一定的时段内向污泥回流管路投加臭氧进行臭氧 氧化。臭氧氧化也可以在污泥回流线路终端设置的反应罐中进行（如图6-10）。臭氧能够破坏微生物组织，产生更多的有机物，部分矿化污泥。而另外一部分臭氧氧化后的污泥则进入好氧罐后发生矿化，这样使得整个过程产生的污泥量很少。这种工艺对系统的其他的指标也有改善作用。比如，采用臭氧 氧化处理时，污泥的容积指数可以保持100Ml/g以下，而没有臭氧 氧化处理时同一时段的这个值会高达到800mL/g⁹