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上海比目仪器有限公司
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BMT-600大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有无限物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的"金字塔" 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
一、用途:
BMT-600大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有无限物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
类 别 | 放大倍数 | 视场(mm) |
大视野目镜 | 10X | φ22 |
2.物镜
类 型 | 放大倍数 | 数值孔径NA | 工作距离(mm) |
无限远长工作距离平场消色差物镜 | 5X | 0.12 | 26.1 |
10X | 0.25 | 20.2 | |
40X | 0.60 | 3.98 | |
60X | 0.70 | 3.18 |
3.光学放大倍数:50X -- 600X 系统参考放大倍数:50X-3500X
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:二层机械移动式:尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:卤素灯,亮度可调;透射光源6V30W卤素灯,加装散热片。
9.防霉:*的防霉系统
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(BMT-600E): 1.显微镜 2.适配镜 3、500万高像素摄像头
4、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(BMT-600E):50--4000倍 (17寸显示器为例)
五、选购件
1.二维测量软件BM-3000C 2.目镜: 20X 10X(带刻度)
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