新莱科技自2009年首次参加SEMICON China以来，十余年来紧密结合中国半导体产业发展特点和全球半导体产业发展趋势，持续开发了真空系统产品与气体系统产品关键零部件，产品包括真空管道、管件、角阀、门阀、传输阀，真空腔体及真空部件等，在气体系统部分包含非超高纯的卡套式球阀、三片式球阀、针阀、卸荷阀、过滤器等颤品，特别在超高纯UHP部分有EP管道、管件、微型管件、面密封接头(VCR)、UHP隔膜阀、UHP调压阀、UHP波纹管阀等系列产品。
亮点请先看— IGS 隔膜阀
本体材料最高阶可选316L VIM/VAR 耐腐蚀强
阀座材料可耐高温环境使用
膜片耐腐蚀性与可靠度拥有高稳定性
最小的粒子生成和粒子截留区域
亮点请先看— FSR (ALD) 隔膜阀
高速驱动，超长循环寿命
电子或光学致动器位置感应选项
适用于超高纯度应用，采用316L VIM-VAR不锈钢阀体
亮点请先看— IGS 调压阀
本体材料最高阶可选316LVAR 耐腐蚀强
阀座材料可耐高温环境使用
膜片耐腐蚀性与可靠度拥有高稳定性
亮点请先看— 高真空传输阀
半导体级，超低磨耗，低粉成尘
维护容易，维修简易
长运行寿命
亮点请先看— 气动两段式真空角阀
阀门大开度，增加气体流量
保养简易，产品寿命长
亮点请先看— 模块化气体系统
采用模块化设计，并集成了半兼容的表面安装组件
随着设备尺寸的减小，安装和维护变得更加容易
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