对于蒸汽灭菌而言，灭菌温度是首先要控制的蒸汽参数，因为微生物对热的耐受力因种类而不同。实际应用中往往通过检测蒸汽温度来控制灭菌效果，但是蒸汽温度和灭菌要求温度有时会不同，当蒸汽中含有2%以上的冷凝水时，虽然蒸汽的温度达标，但由于分布在产品表面的冷凝水对热量传递的阻碍，使得到达产品的实际灭菌温度会低于灭菌温度要求。特别是锅炉携带的炉水，其水质可能会污染灭菌产品。

　　空气等不凝性气体的存在会对蒸汽的灭菌温度形成另外的影响，当灭菌柜室内的空气未排除或未*排除会导致严重的灭菌问题。

　　一方面由于空气是热的不良导体，空气的存在会形成冷点，使得附着空气的产品达不到灭菌温度。另外一方面，空气的形成的分压会导致实际的蒸汽压力低于灭菌蒸汽压力要求，从而导致灭菌失败。

　　蒸汽过热度是影响蒸汽灭菌的一个重要因素，经常会被忽略，EN285要求灭菌蒸汽过热度不应超过3℃。过热蒸汽，其性质相当于干燥的空气，其本身的传热效率低下；另外一方面，过热蒸汽释放显热而温度下降没有达到饱和点时，不会发生冷凝，此时放出的热量非常小，使得热量传输达不到灭菌要求，此现象在过热3℃以上时即表现明显。蒸汽过热还可导致物品快速老化。过热蒸汽有时来源于电厂热网蒸汽，有时过热蒸汽的产生是由于蒸汽减压导致的。

　　蒸汽输送过程中管道污垢和沿途腐蚀锈物会造成二次污染，所以采用瓦特超级洁净蒸汽过滤器对湿热灭菌的工业蒸汽进行一定的前处理非常必要。