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华仪行（北京）科技有限公司
主营产品： 石墨电热板，石墨消解仪，超低温冰箱，纯水，研磨仪，药品稳定箱 |
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华仪行（北京）科技有限公司
主营产品： 石墨电热板，石墨消解仪，超低温冰箱，纯水，研磨仪，药品稳定箱 |
| 参考价 | 面议 |
产品特点
v 双等离子清洗源
v 一机多用
v 高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40 |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器 |
气体控制 | 标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
