光学3D表面轮廓测量仪/非接触三维表面测量系统

主要用途：
光学3D表面轮廓测量仪/非接触三维表面测量系统采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和*材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。

产品特性：
1.采用白光轴向色像差技术，可获得纳米级的分辨率
2.测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
3.尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
4.不受样品反射率的影响
5.不受环境光的影响
6.测量简单，样品无需特殊处理
7.Z方向max测量范围为27mm
8.测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)

技术参数：
垂直测量范围：27mm
垂直分辨率：<2nm
扫描速度：1m/s
横向分辨率：5nm
可视区域：400*600mm
三维非接触式光学轮廓仪技术参数：
垂直测量范围：27mm
垂直分辨率：<2nm
扫描速度：20mm/s
横向分辨率：0.1m
测量范围：150mm×150mm

美国NANOVEA公司是一家*的在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的*，生产的光学轮廓仪是目前上用在科学研究和工业领域的*表面轮廓测量设备，该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有*不断发展的技术，由于这些专门技术的应用，NANOVEA为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的*解决方案。
NANOVEA的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量，其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计，其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快，而且精度高，并提供了多种不同的表面分析方法，与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ，可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。