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芯片清洗机晶片清洗机
1设备名称:硅芯片清洗机晶片清洗机
2 清洗规格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
3 工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。
4 设备形式: 室内放置型。
5 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
6 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
7 机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。
8 DI槽配有在线式水质检测装置;
9 配有分体式废液回收系统;
10药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统
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