电感耦合等离子体质谱仪是测定超痕量元素和同位素比值的分析方法。由等离子体发生器，雾化室，炬管，四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管组成。等离子体质谱仪接口的功能是将等离子体中的离子有效传输到质谱仪。

 

　　电感耦合等离子体质谱仪具有很低的检出限，基体效应小，谱线简单，能同时测定许多元素，动态线性范围宽及能快速测定同位素比值。地质学中用于测定岩石、矿石、矿物、包裹体，地下水中微量、痕量和超痕量的金属元素，某些卤素元素、非金属元素及元素的同位素比值。电感耦合等离子体质谱分析时对水质要求非常高，对水中的离子含量、TOC、颗粒物要求都非常高，对这几块的物质都要做特殊处理。建议用对这块物质做特殊处理的超纯水机现制现用超纯水。

 

　　接口是质谱仪关键的部分。质谱仪和等离子体之间的温度、压力、浓度存在巨大差异，质谱仪要求在高真空和常温条件下工作（质谱仪要求离子在运动中不产生碰撞），而等离子体是在常压下工作。

 

　　接口要使足够多的等离子体在这两个压力差异巨大的区域之间有效传输，并且在离子传输的过程中，不应该产生任何影响终分析结果可靠性的反应，即样品离子在性质和相对比例上不应有变化。

 

　　质谱干扰包括同质异位素干扰、氧化物干扰、氢化物干扰、双电荷离子干扰、多原子离子干扰等。消除或减小质谱干扰的方法有：选择测定质量数、加干扰校正方程、基体分离、冷电等离子体技术、等离子体屏蔽技术、碰撞／反应池技术等；采用高分辨率质谱仪也能有效降低质谱干扰。