详细介绍
在集成电路工艺中,实现夹层电阻有很多种方法。本文研究的夹层电阻就是其中的一种,它不需要通过额外增加光刻MASK层就能实现。图1为该夹层电阻的平面示意图。图1中,夹层电阻区为低浓度的P型注入区,它主要利用工艺中的现有层次实现,比如Pbase层或者Pbody层。该P型夹层电阻区被N+和N阱*包围,因此该结构就是一个被N+和N阱两个层次夹在中间的P型夹层电阻。
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在集成电路的线路设计中,特别是模拟电路的设计中,A20B-8100-0861不可避免地都会需要用到电阻。对于低阻值的应用,一般可以用铝线电阻、多晶电阻、N+电阻或者P+电阻等实现。对于更大一点的电阻,则可以用N阱电阻、P阱电阻或者高阻多晶等实现。对于更高阻值要求,或者阻值要求高但是占用面积要小且精度要求不高,这时候可以用倒比的MOS管或者夹层电阻来实现。顾名思义,夹层电阻就是被其他层次夹在中间的电阻,夹层电阻的方块阻值一般在5~50 kΩ,随着电压的提高,还可以到100 kΩ或更高。
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