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选购匀胶机要注意哪些方面

阅读:1234          发布时间:2021-11-26

选购匀胶机要注意哪些方面
匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。那么,你知道匀胶机如何选购吗?

从其原理来说,可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

1.旋转速度

转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围,并不能标定实时的转速。匀胶机虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有标准认定。建议购买转速控制方面有认定标准的,

2.真空吸附系统的构造

真空泵要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。

3.材质的选择

对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如等型号都是采用聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。

 以上就是关于匀胶机选购的相关内容,通过以上内容可以知道匀胶机的选购要注意三方面,一是旋转速度,二是真空吸附系统的构造,三是材质,希望对大家有所帮助。

 

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