头孢呋辛酸 7783-63-3 生产互连线 *

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中文名称:    头孢呋辛酸
中文同义词:    头孢呋辛酸;四氟化钛;氟化钛(IV);氟化钛(IV),98%;头孢呋辛酸(中间体);四氟化钛,99%
英文名称:    Titanium tetrafluoride
CAS号:    7783-63-3
分子式:    F4Ti
分子量:    123.86
EINECS号：232-017-6
熔点：>400°C
含量：98%
包装：1kg/铝箔袋
化学性质：四氟化钛为有吸湿性的白色结晶粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解。在100℃时与硅氯fang反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
用途：用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。

2200/kg    国家标准

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