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详细介绍
MSV-5100红外光谱仪
广泛应用于电子元件及Diamond等的透过・反射特性的评价、半导体的能隙测量，计测膜厚、功能性结晶光学特性评价、色彩分析等领域。
MSV-5100红外光谱仪特点
・可以测量从紫外区域到近红外区域连续的透过･反射光谱*1
・搭载具有高波长分辨率和波长准确性的单色器
・双光束光学系统优异的测光稳定性
・测量领域尺寸小φ10μm *2
・样品观测采用高解像度照相机画像
・标配偏光测量功能
・搭载自动XYZ样品台（选项）映射测量・多点测量
・JASCO光谱管理器实现简单轻松的操作环境
*1. MSV-5200/5300
*2. 小可测量尺寸根据测量条件・测量样品而不同。
◆ 测量LCD面板的RGB滤光片
测量LCD面板用彩色滤光片的透过率
RGB的副像素为单位、光圈φ10μm测量透过光谱。
| 种名 | MSV-5100 | MSV-5200 | MSV-5300 |
| 分光器部 | Czerny-Turner光学系统 单单色器 双光束方式 | ||
| 光源 | 氘灯、钨灯 | ||
| 测量波长范围 | 200～900nm | 200～2700nm | 200～1600nm |
| 检测器 | 光电子倍增管 | 光电子倍増管、冷却型PbS光导电素子 | 光电子倍増管、冷却型InGaAs光电二级管 |
| 测光方式 | 透过・反射测量 | ||
| 观察 | 高解像度照相机、光学放缩、内置ATOS、照明：LED | ||
| 物鏡 | 対物卡塞格林镜、10倍、16倍、32倍、可选其一 | ||
| 集光鏡 | 集光卡塞格林镜、10倍、16倍、32倍、可选、集光镜自动调节功能 | ||
| 样品台 | 手动台、自动XYZ台（选项）、控制杆（选项） | ||
| 软件 | Spectra Manager 2.0 | ||
| 対应OS | Microsoft Windows7 Professional | ||
| 标准程序 | 显微光谱测量（点测量、显微画像保存）、显微光谱解析 | ||
| 自动控制XYZ样品台 | 样品台移动、区域映射、线测量、多点测量、显微固定波长成像测量、自动聚焦、多通道画像 | ||
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