西格玛光机10nm反馈平台

 零件编号

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 fs-1050px

 fs-1100px

 FS-3150px

 fs-3200px

 JP价格[¥]

350,000

450,000

550,000

750,000

770,000

 机械规格

 行程[mm]

20

50

100

150

200

 台面尺寸[mm]

60×60

120×120

120×120

120×170

160×230

 丝杠[mm]

 滚珠丝杠直径φ4 

 导程1毫米

 滚珠丝杠直径φ6 

 导程1毫米

 滚珠丝杠直径φ6 

 导程1毫米

 滚珠丝杠直径φ8 

 导程1毫米

滚珠丝杠直径φ10 

 导程2毫米

 导轨形式

 十字滚轮

 十字滚轮

 移动导轮

移动导轮 

 移动导轮

 主要材料

 铝合金

 表面处理

 黑色阳极氧化

 电机类型

 □28mm5相步进电机

 重量[公斤]

0.5

1.6

2.1

2.8

5

 精确规格

 定位精度

[nm]=1

10

10

10

10

10

 重复定位精度

 [nm]1

+/- 20

+/- 20

+/- 20

+/- 20

+/- 20

 承重[N]

 49(5kgf)

 98(10kgf)

 98(10kgf)

 98(10kgf)

 196（20公斤）

 运动平行度

 [μm]

10

10

10

10※2

10※2

 速度[毫米/秒]

10

10

10

10

20

 传感器

 极限位置传感器

有

有

有

有

有

 减速传感器

 无

 无

 无

 无

 有

 原点传感器

 无

 无

 无

 无

 无

 接近原点传感器

 无

 无

 无

 无

 无

 配件

 信号循环

 4μm

 4μm

 4μm

 4μm

 4μm

 刻度电缆（3）

 2米

 2米

 2米

 2米

 2米