详细介绍
AFC质量流量控制器
被测气体分别流经两个层流区,一路通过主流量管道,另一路通过毛细测量管。两个管路的设计保证流体处于层流状态,因此两个管路流量比是恒定的。两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热,当有流量产生时,被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。
测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系,采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。根据被测气体的质量流量,输出0…5 V D C或者4…20mA信号。经过两个层流区的气体混合后流过具有特定孔径的电磁比例阀,质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统,使流量稳定在设定的流量值上。在一定范围内温度和压力的变化不会影响流量测量值。
AFC质量流量控制器技术参数
精确度:(包括线性度) 15℃到25℃和5-60psia±1 %满量程
0℃到50℃和5-150psia ±2 %满量程
特殊温度和压力需要特殊校准
重复性: ±0.15%满量程
响应时间: 设定点在满量程的20%-*时,0.6-1.0秒内达到±2 %精度
温度系数: 小于0.05%满量程/℃
压力系数: 小于0.01%满量程/psi(0.07bar)
*气体压力: 25 psig(1.73bar)
大气体压力: 1000 psig(70bar)
大压差: DFC2600和DFC3600 50psi(3.4 bar)DFC4600 40 psi(2.8 bar)
气体和环境温度: 41℉-122℉(5℃-50℃)
通讯接口: 标准RS485, 可选RS232
输出信号: 线性度0-5VDC,(小负载电阻2000ohms)
0-10VDC, (小负载电阻4000ohms)
0-10mA 可选(回路电阻0-500 ohms)大噪音干扰±20mV峰值
电源保护: 电路板有内置极性保护电路。保险丝提供电源输入保护
接液材质: 316不锈钢、416不锈钢、铜和Viton ® O型圈 可选氯丁橡胶O型圈。
方位灵敏度: 水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置
连接: DFC26:1/4" 卡套螺纹
DFC36:1/4"卡套螺纹
DFC4600:标准 3/8 " 卡套螺纹
可选1/8" 或3/8" 卡套螺纹或1/4" VCR ®
电源: ±15 VDC 450mA大电流
校准选项: 标准10点NIST校准 可选10种气体标定数据 (另收费)