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郑州菲利特智能装备有限公司
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多晶硅、单晶硅微波、红外复合专用烘干生产线
多晶硅、单晶硅微波、红外复合专用烘干生产线
一、 工艺设备要求
1.1物料特性:
干燥物料名称:多晶硅料。
物料形状:1mm-8mm、8mm-50mm、50mm-150mm 三种规格,不规则形状。
含水率:硅料表面水分,小颗粒的为经过甩干后的水分。
1.2干燥原理及控制点
采用干燥原理:连续式,微波温控干燥。
微波精度控制:≤1%。
温度控制点:多点控温,烘干过程中硅料温度≤120℃。
传动系统:PTFE特氟龙高温布,可变频调速。
输送带回程清理:带自动电动毛刷清扫装置。
微波泄漏量:≤2mW/cm2,测量方法按GB 5959.6-2008中规定执行。
1.3 生产能力
设计生产能力250KG/h,24h连续流水式作业,烘干后需加冷却降温到40℃。
设备配置与功能
设计总功率120kw,微波功率90kw,红外功率90kw,循环冷却水流量约14m³/h,排风量3600m³/h。
设备长16.75m,宽1.4m,高2.2m。
操作柜与微波电源柜同侧布置,操作柜靠近上料端,从操作台处面对设备,设备为右进左出。
设备主体:
设备主体由布料系统、微波抑制器(首尾各一个)、微波腔体、微波发生器、传送装置、排湿冷却系统、下料冷却系统组成。
设备机架整体采用304不锈钢材料制作,微波腔体采用316L不锈钢。
微波腔体长9m、宽1.5m、高0.48m。
布料系统:
采用料仓加直线筛给料装置结合,料仓容积0.15立方。料仓内壁等与硅料接触的部分,使用高纯PU材质内衬,出口处PU内衬需突出壳体30mm以上,防止物料污染。
设备厂家提供合理的上料方式,上料高度与地面距离不超过1100mm,料斗高度根据系统合理设计,布料系统采用下图所示方式:
内蒙古多晶硅生产现场
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