干燥设备 粉碎设备 混合设备 反应设备 过滤分离设备 过滤材料 灭菌设备 萃取设备 贮存设备 传热设备 锅炉 塔设备 结晶设备 其他制药设备
伯东企业（上海）有限公司
伯东企业（上海）有限公司
| 连接形式 | 法兰 | 流动方向 | 双向 |
|---|---|---|---|
| 驱动方式 | 气动 | 通道位置 | 二通式 |
| 温度范围 | 中温 | 压力 | 高压 |
| 执行质量标准 | 美标 | 材质 | 铸铝,不锈钢 |
| 产地 | 进口 | 产品大小 | 中型 |
| 产品新旧 | 全新 | 适用介质 | 气体 |
上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中! HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用
半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中!
半导体管道插板阀应用示意图 现场图
为什么选择伯东?
伯东公司成立于1953 年,超过65年历史.
上海伯东所有产品保证**, 拥有强大售后服务团队, 拥有*的拆解, 维修, 校正能力并提供24小时在线服务.
上海伯东是美国 HVA 插板阀在中国地区总代理商.
上海伯东美国 HVA 插板阀优势
1. 满足高真空（1E10-9 mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）应用
2. HVA 插板阀口径 DN 16 至 800 mm
3. 坚固耐用, 超长使用寿命, 可达 1,000,000 启动次数
4. 清洁和高密封性保证 HVA 插板阀与前级泵, 涡轮分子泵等完美联用
5. 双向密封,小漏率 < 2x10-9 mbar l/S
6. 可选择驱动方式多, 手, 气,电动可选
7. 有效保护分子泵. 气动和电动插板阀均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用
8. 标准或定制法兰满足不同应用
9. 标准, 插板阀整机美国设计, 制造, 组装, *
美国 HVA 超过 40年的阀门研发生产经验, 与友厂对比, HVA 插板阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.
美国 HVA 插板阀主要型号
|
|
|
|
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口的代理商 .我们真诚期待与您的合作！
上海伯东: 叶女士 中国台湾伯东: 王女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
制药网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
