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详细介绍
Pfeiffer TPR270系列真空计
Active 系列提供各类型的真空计，该系列真空计基于各种测量原理进行工作，并具有传统的模拟输出，该系列涵盖从超高真空到超压的相关真空范围。真空计的输出电压，与压力成正比，可以在三个控制器上显示为压力或通过模拟输入读入进行远程操作。每种测量技术都可用于独立传感器或与互补测量技术结合，以在整个真空范围内获得 性价比。
特点
涵盖从5 × 10E-10mbar至大气压的压力范围
得益于紧凑设计而实现的节省空间安装
复合形式的真空测量， 成本效益比
由于集成电子驱动单元，应用范围广泛
真空镀膜机普发Pfeiffer EVR116气体质量流量计进气控制阀
应用
研究设施
分析设备
研究和生产涂料设施
泄漏检测系统
半导体开发和生产
光伏
工业真空工艺系统
双极旋片式真空泵产品特点
1. 环保- 无油渗漏
2. 运行费用低- 无需维护轴封
3. 工作气体和环境之间无交换
4. 耐腐蚀- 无有色金属
5. 集成的高真空安全阀和气镇阀
6. 有丰富的附件可用于检测和系统集成
7. 可提供用于腐蚀性气体的型号
双极旋片式真空泵产品应用范围
1.镀膜 2. 工业 3. 分析行业 4. 研发 5. 真空化学 6. 真空冶金 7. 真空干燥
双极旋片式真空泵技术参数
型号 | 连接尺寸DN | 泵抽速50Hz | 极限压力 mbar | 噪音比 | 重量 | ||
进气口 | 出气口 | m3/h | 气震阀开 | 气震阀关 | dB(A) | kg | |
DUO 2.5 | 16 | 16 | 2.5 | 6.10-3 | 6.10-3 | 53 | 10.5 |
DUO 5 | 16 | 16 | 5 | 2.10-2 | 5.10-3 | 55 | 19 |
DUO 10 | 25 | 25 | 10 | 1.10-2 | 5.10-3 | 57 | 27 |
DUO 20 | 25 | 25 | 20 | 1.10-2 | 5.10-3 | 55 | 33 |
DUO 35 | 40 | 40 | 32 | 5.10-3 | 3.10-3 | 61 | 56 |
DUO 65 | 40 | 40 | 62 | 5.10-3 | 3.10-3 | 61 | 65 |
DUO 120 | 63 | 63 | 120 | 6.10-3 | 3.10-3 | 60 | 215 |
DUO 250 | 100 | 100 | 250 | 6.10-3 | 3.10-3 | 62 | 410 |
双极旋片式真空泵规格图DUO Demensions
Pumping speed，without gas ballast
Pumping speed，with gas ballast
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