高低温循环一体机中每个配件的性能都是不同的，我们要充分发挥每个配件的作用才能使得高低温循环一体机更好的运行，其中低温泵是主要的配件之一，其安装的时候也需要按照要求来进行安装。

 

 

　　低温泵在安装的时候需要注意安装设施及要求，前级泵—低温泵要求一台前级泵预抽真空室，抽到低温泵的启动压力。吸附井—安装水冷挡板，如果油蒸汽返到低温泵，可以使它的吸附阵被污染，则需要更换吸附阵。

　　高真空阀门安装在低温泵与真空室之间，这样可以缩短启动时间，还可以实现在真空室不放气的情况下，还可以随时对真空室进行检漏。预抽阀在低温泵的预抽接口处，需要安装一只阀门，该阀门在预抽是打开的，而在低温泵运行期间是关闭的，另外还有一只是用来用同一台机械泵对真空室进行预抽的。

　　接着安装低温泵，高真空法兰连接，低温泵可以借助其高真空法兰固定在真空室需要的任何地方，在安装前请检查是否完好，以其表面无压痕和杂物为准则。抽气接口和安全阀的连接，低温泵在运行过程中，不能排气，所以在启动以前需要利用机械泵等粗抽泵通过抽气接口来预抽低温泵。要保证把低温泵的抽气接口接到相应尺寸的前级泵上去。

连接高低温循环一体机低温泵和压缩机，把低温泵和压缩机，以及金属软管上所有自密封接头上的保帽取下。注意：在如下的步骤中，不可以使用清洁剂去擦拭自密封接头。在进行连接之前接头上没有灰尘、油迹、颗粒杂物等，必要时用一柄刷子去清洁螺纹，用一块没有棉丝的软布去擦拭密封面上的任何赃物。连接金属软管，按照气流方向连接软管，从压缩机开始到低温泵，然后从低温泵到压缩机，用两个扳手去拧紧每一只自密封接头以保护软管不至于扭曲而漏气，适度拧紧每一只接头，连接好之后在检查压缩机的压力表的指示。