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南通华林科纳半导体设备有限公司


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单腔立式甩干机-CSE

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产品型号

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地南通市

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更新时间:2025-02-13 09:01:02浏览次数:139次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:66条

所在地区:江苏南通市

联系人:严先生 (市场部经理)

产品简介

单腔立式甩干机-CSE

详细介绍

单腔立式甩干机-华林科纳

南通华林科纳-单腔立式甩干机系统应用于各种清洗和干燥工艺

设备名称

南通华林科纳-单腔立式甩干机

优 点

清洗系统应用于各种清洗和干燥工艺

> 不同配置(可放置台面操作的设备、单立、双腔)

> 适用于晶圆尺寸至200mm

> 的占地,设备带有滚轮可移动

> 的可靠性

> 的模块化结构

> 极其便于维修

> 易于使用和操作

一般特征

适用于晶圆直径至200mm

> 25片晶圆单盒工艺

> 标准的高边和低边花篮

> 可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺

> 用冷或热的N2辅助晶圆干燥

> 离心头容易更换

图形化的界面:

> 基于PLC的彩色5.7“的触摸屏

> 可以编辑10多个菜单,每个菜单可有10步

> 多等级用户密

去静电装置安装于工艺腔室区

> 去离子水回收

> 电阻率监测装置

> 机械手自动加载

> 可放置台面操作的设备、单立、双腔

> SECS/GEM

> 去离子水加热系统

> 底座置放不锈钢滚轮

> 溶剂灭火装置

> 适用特殊设计的花篮

设备制造商

南通华林科纳半导体设备有限公司

单腔立式甩干机

关键词:传感器

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