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详细介绍
北京汉达森德国原厂直供德国PhysikInstrumenteA-110带空气轴承线性平台、PhysikInstrumenteA-110带空气轴承线性平台
Physik Instrumente公司简介：
Physik Instrumente（PI）GmbH & Co.KG 多年来，PI的产品一直以高品质和创新技术而著称。在提供产品质量的同时，PI更为用户提供创新的技术服务和完整的解决方案。从精密加工到数字与模拟控制电路，从亚纳米级的电容位置传感器到*的PICMA 压电陶瓷促动器，PI已掌握全套关键技术，强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展，也使得PI成为众多高科技企业、*实验室的合作伙伴。
产品简介：
产品概述
PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器：非接触式无摩擦运动实现*精度和可靠性
产品特点：
- 扫描应用的*选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 运动平台的尺寸160毫米×200 毫米
- 行程达400 毫米
- 负载容量达100 牛
附件和可选配件
- 编码器
- PIglide Filter und Druckregler
- 单轴和多轴运动控制器
- XY装置和个性化配置
- 花岗岩底座板和隔振系统
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
规格
运动 | A-110.050xx | A-110.100xx | A-110.200xx | A-110.300xx | A-110.400xx | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
主动轴 | X | X | X | X | X |
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行程 | 50 | 100 | 200 | 300 | 400 | 毫米 |
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螺距/偏转角(1) | 15 | 15 | 20 | 30 | 40 | 微弧度 | 大 |
直线度/ | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1.5 | 微米 | 大 |
| ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | 纳米 | 大 |
速度，空载(2) | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 米/秒 | 大 |
加速度，空载(2) | 10 | 10 | 30 | 30 | 30 | 米/平方秒 | 大 |
机械特性 | A-110.050xx | A-110.100xx | A-110.200xx | A-110.300xx | A-110.400xx | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
Z向负载能力(3) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 牛 | 大 |
移动质量 | 2.5 | 2.5 | 2.6 | 2.6 | 2.6 | 千克 |
|
总质量 | 6.3 | 7.5 | 11 | 12 | 14 | 千克 |
|
导向类型 | 空气轴承 | 空气轴承 | 空气轴承 | 空气轴承 | 空气轴承 |
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驱动特性 | A-110.050xx A-110.100xx | A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|
驱动类型 | 无铁芯三相线性电机 | 无铁芯三相线性电机 |
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中间电路电压，均方根 | 48，标称值 60，大值 | 48，标称值 60，大值 | 伏直流 |
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峰值力 | 25 | 85 | 牛 | 典型值 |
标称力 | 9.2 | 39 | 牛 | 典型值 |
力常数，均方根 | 4.2 | 12.3 | 牛/安 | 典型值 |
相间电阻 | 8.2 | 3.6 | 欧姆 | 典型值 |
相间电感 | 2.7 | 1.24 | 毫亨 | 典型值 |
相间反电动势 | 4.2 | 10.1 | 伏·秒/米 | 大 |
布线 | 内部，无移动电缆 | 外部，移动电缆 |
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定位 | A-110.xxxA | A-110.xxxB |
|---|---|---|
集成传感器 | 增量线性编码器 | 编码器 |
传感器信号 | 正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期 | BiSS-C |
传感器分辨率 | 1.2纳米(4) | 1纳米 |
双向重复性 | ±0.1微米(4) | ±0.1微米 |
定位精度，未校准(5) | A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 2微米 A-110.300：± 3微米 A-110.400：± 4微米 | A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 1.5微米 A-110.300：± 1.5微米 A-110.400：± 1.5微米 |
定位精度，已校准(5) | A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米 | A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米 |
其他 | A-110 |
|---|---|
工作压力(6) | 60至70磅 /平方英寸（415至485千帕） |
耗气量 | < 1.0 SCFM (28 SLPM) |
空气质量 | 清洁（过滤达1.0微米或更佳）ISO 8573–1 级别1 无油 - ISO 8573–1 级别1 干燥（-15°C露点） - ISO 8573–1 级别3 |
材料 | 硬膜铝，不锈钢固定硬件 |
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的*。平台仅设计用于水平操作。
(4)假定16384x插值。有关其他因子的使用
(5)通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的*影响。
(6)为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
订购信息
A-110.050A1 PIglideLC线性平台，空气轴承，50毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏
A-110.050B1 PIglideLC线性平台，空气轴承，50毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-110.100A1 PIglideLC线性平台，空气轴承，100毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏
A-110.100B1 PIglideLC线性平台，空气轴承，100毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-110.200A1 PIglideLC线性平台，空气轴承，200毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏
A-110.200B1 PIglideLC线性平台，空气轴承，200毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-110.300A1 PIglideLC线性平台，空气轴承，300毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏
A-110.300B1 PIglideLC线性平台，空气轴承，300毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-110.400A1 PIglideLC线性平台，空气轴承，400毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏
A-110.400B1 PIglideLC线性平台，空气轴承，400毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
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