详细介绍
一,德国LEYBOLD莱宝真空泵SV65B特征及用途
低温冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速大、工作压强范围宽、极限真空度高(气氦制冷机低温冷凝泵可以达到10-10Pa,
液氦型低温冷凝泵可以达到10-13Pa)的真空泵,而且可以抽除所有气体,能获得全无油清洁真空。由于具有这些突出的优点,
气氦制冷机低温冷凝泵在需要大抽速、超高清洁真空的半导体、新型显示器件及其他高科技研究和产业中获得了Et益广泛的应用。
低温冷凝泵的缺点是价格很高,运行中需要再生而不能*连续抽气。
扩散泵系统是比较常用的高真空系统,一般可以获得10-1~10-5Pa的工作真空,使用特别设计的扩散泵及采用性能良好的扩散泵油,
再在泵的人口端使用挡油板和液氮冷阱,加以充分的烘烤除气措施,可以获得10-7Pa的极限真空。扩散泵系统的特点是对各种气体都能抽除,
适宜长时间连续工作,扩散泵没有噪声,价格比较低。缺点是开启或停止系统工作很耗时,工作效率低,油污染严重。
用机械泵作为前级泵的涡轮分子泵系统,是目前常用的高真空系统,有取代扩散泵系统的趋势。分子泵系统可以获得10-1~10-6Pa的工作真空,
可达到lO-8Pa的极限压强。分子泵系统的优点:对各种气体的抽速差别不大,起动快、油污染很轻,称之为半无油系统;能耗较低,
容易做到自动控制。