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W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵

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更新时间：2024-09-13 07:30:48浏览次数：262次

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产品简介

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型应用- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺- 进样室，转移室- 粒子加速器- 科研- 镀膜系统技术特点- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统- 轴承系统的数字监控- 噪声和振动低- 任意方向安装- 的转子设计，实现高......

详细介绍

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型应用

- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺

- 进样室，转移室

- 粒子加速器

- 科研

- 镀膜系统

技术特点

- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统

- 轴承系统的数字监控

- 噪声和振动低

- 任意方向安装

- 的转子设计，实现高抽速和高前级耐压

- 智能电源控制系统

- CT版集成温度管理系统（TMS）

- C版耐腐蚀

客户得益

- 免维护

- 所有工艺气体都有高气载量

- 极限低，抽速高

- 前级耐压高

- 同类中重量较轻，尺寸较小

- 耐粉尘

- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物

（CT版）

- 高耐腐蚀性-CT版

- 气体吹扫系统

更多信息请联系莱宝：安博元科技 info

技术特点

- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统

- 轴承系统的数字监控

- 噪声和振动低

- 任意方向安装

- 的转子设计，实现高抽速和高前级耐压

- 智能电源控制系统

- CT版集成温度管理系统（TMS）

- C版耐腐蚀

客户得益

- 免维护

- 所有工艺气体都有高气载量

- 极限低，抽速高

- 前级耐压高

- 同类中重量轻，尺寸小

- 耐粉尘

- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物

（CT版）

- 高耐腐蚀性-CT版

- 气体吹扫系统

更多信息请联系莱宝：安博元科技 info

典型应用

- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺

- 进样室，转移室

- 粒子加速器

- 科研

- 镀膜系统

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技术参数				TURBOVAC MAG
		W 2800 C		W 2800 CT W 2800			W 3200 CT
进气口		DN	250 ISO-F		250 ISO-F	250 CF		320 ISO-F
PNEUROP的抽速
氮气		I x s-1	2650		2650	2650		3200
氩气		I x s-1	2450		2450	2450		3000
氦气		I x s-1	2650		2650	2650		3000
氢气		I x s-1	2100		2100	2100		2250
额定转速		min-1	28 800		28 800	28 800		28 800
压缩比
氮气			1 x 108		1 x 108	1 x 109		1 x 108
极限压强，根据 DIN 28 400		mbar	< 10-8		< 10-8	< 1 x 10-10		< 10-8
		(Torr)	(< 0 75 x 10-8)		(< 0 75 x 10-8)	(< 0 75 x 10-10)		(< 0 75 x 10-8)
前级耐压（对氮气）对流冷却时水冷却时		mbar (Torr)mbar (Torr)	– 2 0 (1 5)		– 2 0 (1 5)	0 3 (0 23) 3 0 (2 3)		– 2 0 (1 5)
推荐的前级泵
抽速达100 m3/h的旋片泵或干泵			TRIVAC D 65 BCS		TRIVAC D 65 BCS	TRIVAC D 65 BCS		TRIVAC D 65 BCS
启动时间	min		< 10		< 10	< 10		< 10
出气口外形尺寸	DN		40 ISO-KF		40 ISO-KF	40 ISO-KF		40 ISO-KF
吹扫和破空口			1/4" VCR		1/4" VCR	DN 10/16		1/4" VCR
冷却水接口	Swagelok tube		1/4"		1/4"	1/4"		1/4"
重量（近似）	kg (lbs)		64 (141 3)		64 (141 3)	75 (165 6)		65 (143 5)