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全自动晶圆贴膜机

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参考价: ￥ 1000000

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产品型号15850350764

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更新时间：2020-09-24 14:57:30浏览次数：710次

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昆山友硕新材料有限公司

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产品简介

操作方式	连续式	加热方式	传导式
产地	进口	产品大小	大型
产品新旧	全新	机械分类	真空盘式
结构类型	立式	内箱材质	不锈钢
适用物料	通用	自动化程度	全自动

详细介绍

友硕ELT全自动晶圆贴膜机特点：
一、直线切割刀位置可以根据不同的FRAME进行自动变换,这样能够有效的省膜。每次直线切割后，后面的膜由真空吸盘，吸起。
　　二、WAFER CHUCK与FRAME CHUCK是分离式的。WAFER CHUCK可以上下调节,这样可以合理地处理不同厚度的WAFER, 整体的CHUCK TABLE还有浮动,这样贴膜时候,对WAFER有保护作用.
　　三、贴膜机构中,MOUNTING滚轮是用汽缸来控制的,,对汽缸力的大小可以人为进行调节,这样贴膜力的大小,可以根据客户产品要求确定.
　　四、机器上气动元件采用SMC或KOGANEL品牌.保证其质量及使用寿命.机器上机械方面的外购件以品牌产品为主
　　五、旋转切割刀在6.8寸转换时,方便,另外切割易于操作,同时切割稳定.
　　六、上料机构中,膜的装入与卸下,比较方便,只要旋几下张紧旋扭,便可以实现上下料的操作.同时料桶上有刻线,便于膜装入后,位置的确定.
　　七、本设备是TABLE移动，产品放上TABLE后，TABLE在伺服马达的驱动下移进到工作位置后，贴膜滚轮将膜压下(压到FRAME上)，TABLE再移动出来，这样膜自动被贴在产品上。
　　八、中国台湾ELT科技是制程设备制造商，其中硅片真空压膜机晶圆贴膜机是8寸/12寸晶圆贴合设备，填充率高，无气泡，高深宽比，全自动调节温度压力，是晶片制程后期的设备。

关键词：上料机