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详细介绍
密析尔Pura 高纯气露点变送器 / 在线露点仪
在很多纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作很重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低到惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Product description:在很多纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作很重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低的价位变送器。
亮点
|  |
| 技术参数 |
| 传感器 | |
| 传感器类型 | 密析尔陶瓷湿度传感器 |
| 量程 | -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C) |
| 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; |
| ±2°C -61 ~ -100°C; | |
| ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) | |
| 分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; |
| 1°C -80 ~ -100°C; | |
| 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C | |
| 压力 | 低 10-9 torr; 大 24 MPa |
| 气体流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
| 电气 | |
| 电源 | 通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大电流 25 mA |
| 输出 | 4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供) |
| 大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8) | |
| 输出出错状态 | 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
| 机械性能 | |
| 传感器套筒 | 不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀 |
| 气路连接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 |
| Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 | |
| 安装配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙 |
| 底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm | |
| Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中 | |
| 尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm |
| Pura Sensor 型: 132 x 35mm | |
| 重量 | Premium 或 OEM 型: 450g |
| Pura Sensor 型: 180g | |
| 包装 | Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封 |
| Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装 | |
| 所有选配件: 独立包装运输 | |
| Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作 | |
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