1200℃三通道CVD系统

一体式CVD系统设计紧凑，使用方便。特别是丰富的图文界面，即使您是**操作，该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作，您根本无需专业学习，为您节省大量的科研时间，真正做到事倍功半！

产品特点：

1、丰富的图文信息：全尺寸液晶图文界面

2、系统高度集成：各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出

3、可使实验步骤程序化、自动化

主要技术参数：

工作电压：AC220/AC110V   

工作频率：50Hz/60hz

工作温度：25℃～1100℃

测量精度：0.1℃

控温精度：±1℃

加热区长：400mm

恒温区长：200mm

射频频率：13.56MHz

射频功率：0～500W（可调节）

匹配模式：自动匹配

气体通道：3通道

气体测量：质量流量计

量程范围：0～500SCCM

真空设备：分子泵组

真空测量：复合真空计