CY-1100X-SPC-16C-多功能镀膜仪-郑州成越科学仪器有限公司

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产品简介

简单介绍：多功能镀膜仪是我公司独立研发的新型产品，既可进行等离子溅射法镀膜，也可进行蒸发镀膜。这款多功能镀膜仪可以与分子泵或者旋片式真空泵连接以获取不同的镀膜环境，已被广泛用于ITO镀膜和金属镀膜。

详情介绍：

此款多功能镀膜仪是一台小型台式镀膜仪，外形小巧，操作便捷，设有真空表，溅射电流表等，可实时监控工作状态。通过调节电离气体和镀膜仪参数，可获得良好的镀膜效果。由于既可进行等离子镀膜，又可进行热蒸发镀膜，为广大客户所欢迎，并受到好评。

多功能镀膜仪技术参数

型号	CY-1100X-SPC-16C
靶材直径	50mm
样品台直径	50mm
真空腔体尺寸	φ160*110mm
真空度	10Pa~10^-3Pa
Max电流	50mA
Max设置时间	9999s
工作电压	直流1600V，可调
真空泵	双极旋片真空泵：10—100Pa 涡旋分子泵系统：10^-3Pa
电源电压	220V 50Hz
总功率	＜2000W
蒸发镀膜*高温度	1100℃
热电偶	S型热电偶
控温精度	±1℃
钨丝篮	2个
真空接口	KF25
显示器	LCD触摸屏
膜厚监测仪（选配）	电源：DC5V 工作电流400mA 膜厚分辨率：0.0136埃米膜厚准确度：±0.05%，取决于过程条件测量速度：100ms-1s每次，可调标准传感晶体：6MHz石英