CY-CP-紧凑型等离子清洗机-郑州成越科学仪器有限公司

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产品简介

简单介绍：紧凑型等离子清洗机带有数字真空传感器和显示器，以及铰链门。适用于各种气体对2英寸以下晶圆片的纳米级有机污染物进行清洗和去除。在高射频功率下，有机去除率高约为10nm /min。紧凑型等离子清洗机是一种较好的单晶基材涂装前预清洁的工具，可达到较好的涂膜质量。

详情介绍：

紧凑型等离子清洗机主要特点：

1.使用各种气体清洗和去除晶片上的纳米级有机污染物，至多可容纳2"。
2.涂层前预清洗单晶基板的优良工具，可获得更好的薄膜质量。
3.铰链式门，便于样品装载。
4.3"直径石英腔室，适用于清洁2"晶圆，可选配石英舟。
5.石英室内的可移动石英管易于清洁和更换。

紧凑型等离子清洗机技术参数：

射频功率

射频功率（线圈上施加的高压和高频电流）可在三个级别调节：

等离子室

•3"直径×6.5"长的石英室

•700 mL容量

•高纯度石英室比玻璃具有更长的使用寿命

真空计和显示器

•Stinger压力表安装在铰链门上。

•1/8"NPT针阀，可定性控制气体流量和腔室压力。

•1/8"NPT三通阀，可快速切换出气体，隔离腔室和排气。

真空泵

包括一个双级旋片式真空泵

输入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,单相

工作气体

•可以选择许多惰性气体进行等离子体清洁，例如N2，Ar，空气和混合气体取决于将要处理的材料类型。

•可以使用<5％H2混合惰性气体

•等离子清洁器不得使用。

整体尺寸

净重

40磅

保证

一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室无保修)

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