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详细介绍
详情介绍：
1200℃单温区三通道混气CVD系统采用全彩高清触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够的提高您的实验效率。系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
1200℃单温区三通道混气CVD系统技术参数：
项目 | 明细 |
供电电压 | AC220V，50Hz |
MAX功率 | 5KW |
加热温区 | 455mm |
工作温度 | 1100℃ （1200℃＜1h） |
控温精度 | ±1℃ |
升温速率 | 建议≤10℃/min |
控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区独立控制，带有过热和断偶保护 |
炉管材质 | 高纯刚玉 |
炉管尺寸 | φ60mm O.D×1300mm L |
气体通道 | 三通道质量流量计 |
气体量程 | A：100sccm B：300sccm C：500sccm |
系统真空 | 5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵） |
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