详细介绍
1200℃双温区3路质量供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够的提高您的实验效率。
系统所配有的三路质量流量计,精度高可靠性强,可以准确混合1~3路气体,操作面板采用数字显示,直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。
本系统还配有精密分子泵组,可以达到1.0E-3pa级别的真空度,较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
真 空 管 式 炉 | 产品型号 | CY-O1200-50IIT | ||
炉管材质 | 高纯石英 | |||
炉管直径 | 50mm(可选配60mm、80mm、100mm) | |||
炉管长度 | 1000mm | |||
炉膛长度 | 440mm | |||
加热区长 | 200mm+200mm | |||
工作温度 | 0~1100℃ | |||
控温精度 | ±1℃ | |||
控温模式 | 30段或50段程序控温 | |||
显示模式 | LCD | |||
密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | |||
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 | |||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |||
供 气 系 统 | 产品型号 | CY-3Z | ||
气体通道 | 3通道 | |||
测量部件 | 气体质量流量计 | |||
测量量程 | A通道:0~100SCCM H2气 | 备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 | ||
B通道:0~300SCCM N2气 | ||||
C通道:0~500SCCM Ar气 | ||||
测量精度 | ±1.0%F.S | |||
管道耐压 | 3MPa | |||
工作压差 | 50~300KPa | |||
连接管道 | 304不锈钢 | |||
控制阀门 | 304不锈钢针阀 | |||
接口规格 | 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 | |||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |||
排 气 系 统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | ||
分子泵 | CY-600 | |||
前极泵 | 旋片泵 | |||
抽气速率 | 分子泵:600L/S | 综合抽气性能:20分钟真空度可达:1.0E-3Pa | ||
旋片泵:1.1L/S | ||||
抽气接口 | KF40 | |||
排气接口 | KF16 | |||
真空测量 | 复合真空计:电阻规+电离规 | |||
极限真空 | 1.0E-5Pa | |||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz |
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