制药网
详细介绍
详情介绍：
产品介绍：
等离子增强CVD系统由等离子发生器，三温区管式炉、单温区管式炉、射频电源、真空系统组成。等离子增强CVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）， 该PECVD石墨烯薄膜制备设备借助13.56Mhz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离，在真空腔体内形成等离子体，利用等离子的强化学活性，改善反应条件，利用等离子体的活性来促进反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
等离子增强CVD系统适用范围：
等离子增强CVD系统可以用于：石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种试验场所。可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜，并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于、高精模具、硬质涂层、高duan装饰等领域。
等离子增强CVD系统技术参数：
三 温 区 管 式 炉 | 产品型号 | CY-O1200-50IIIT |
炉管材质 | 高纯石英 | |
炉管直径 | 50mm | |
炉管长度 | 2830mm | |
炉膛长度 | 660mm | |
加热区长 | 200mm+200mm+200mm | |
工作温度 | 0～1100℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温模式 | 30段或50段程序控温 | |
显示模式 | LCD | |
密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | |
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头 | |
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
单 温 区 管 式 炉 | 产品型号 | CY-O1200-50IT |
炉管材质 | 高纯石英 | |
炉管直径 | 50mm | |
炉管长度 | 2830mm | |
炉膛长度 | 440mm | |
加热区长 | 400mm | |
恒温区长 | 200mm | |
工作温度 | 0～1100℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温模式 | 30段或50段程序控温 | |
显示模式 | LCD | |
密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | |
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头 | |
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
RF 输 出 系 统 | 功率范围 | 0~500W可调 |
工作频率 | 13.56MHz+0.005% | |
工作模式 | 连续输出 | |
显示模式 | LCD | |
匹配阻抗模式 | 能够匹配，起辉均匀布满三温区炉管 | |
功率稳定度 | ≤2W | |
正常工作反射功率 | ≤3W | |
放大反射功率 | ≤70W | |
谐波分量 | ≤-50dBc | |
整机效率 | ≥70% | |
功率因素 | ≥90% | |
供电电压/频率 | 单相交流（187V~153V） 频率50/60Hz | |
控制模式 | 内控/PLC 模拟量/RS232/485通讯 | |
电源保护设置 | DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
起辉长度 | 在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光能布满三个温区的炉体长度 | |
供 气 系 统 | 四路质子流量计 | 质子流量计 |
流量范围 | MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分别对应气体H2、 CH4、 N2、 Ar、 | |
测量精度 | ±1.5%F.S | |
重复精度 | ±0.2%FS | |
线性精度 | ±1%F.S. | |
响应时间 | ≤4s | |
工作压力 | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
流量控制 | 液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制 | |
进气接口 | 可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 | |
出气接口 | 可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 | |
连接方式 | 双卡套接头 | |
工作温度 | 5~45℃ | |
气体预混 | 配气体预混装置 | |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
排 气 系 统 | 机械泵 | 旋片泵 |
抽气速率 | 1.1L/S | |
排气接口 | KF16 | |
真空测量 | 电阻规 | |
极限真空 | 1.0E-1Pa | |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
抽气接口 | KF16 | |
轨道 | 轨道长度 | 3米，能实现三温区炉子一个炉位长度的滑动，实现快速升降温 |
免责声明：本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)，仅供参考。可能由于更新不及时，会造成所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，本公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。
制药网