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详细介绍
详情介绍：
双温区CVD系统适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
双温区CVD系统产品规格：
主要技术参数 | ||
双 温 区 管 式 炉 | 显示模式 | 7英寸触摸屏 |
真空控制 | 可通过参数设置，自动完成抽真空，恒压工作 | |
炉管材料 | 高纯石英 | |
炉管尺寸 | 直径：50mm，长度1000mm | |
加热温区 | 两温区 | |
温区长度 | 200mm+200mm | |
工作温度 | 室温～1100℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
升温速率 | 建议10℃/min | |
控温模式 | 可编程程序控温 | |
密封方式 | 真空法兰密封 | |
双通道质量流量计 | 气体通道 | 两通道 |
测量仪器 | 质量流量计 | |
A路量程 | 氢气：0～500SCCM | |
B路量程 | 氩气：0～1000SCCM | |
连接管道 | 抛光不锈钢管 | |
气体缓冲器 | 1000ml | |
工作压力 | ≦3Mpa | |
工作压差 | 0.3MPa | |
管道接口 | 6.35mm卡套接头 | |
真空泵 | 抽气接口 | KF25 |
排气接口 | KF25 | |
抽气速率 | 24立方米/小时 | |
极限真空 | 5.0E-2Pa | |
电机功率 | 1100W | |
电机转速 | 1440转/分钟 | |
真空计 | 传感器类型 | 皮拉力 |
真空量程 | 1.0E-1Pa～1.0E5Pa | |
安装方式 | 竖直放置 | |
工作电压 | DC24V | |
相关配件 | 连接管道 | KF25波纹管1米长 |
聚四氟管5米 | ||
石英炉管1根 | ||
炉管塞子4个 | ||
炉钩1支 | ||
防护手套1双 | ||
真空法兰1套（带密封圈、针阀、气路接头） | ||
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