详细介绍
该二维材料生长设备由预热炉、反应炉,真空系统、供气系统以及轨道支架五部分组成。前端配的预热炉能够用来预热蒸发固态源,反应炉能够提供反应所需的热环境。两台电炉均安装在滑轨支架上,可以实现快速升降温,提升实验效率。炉管内配有热电偶测温,可以准确控制反应条件。所有电路均采用高清全彩触摸屏控制,操作简单直观易于上手。
供气系统采用两路质量流量计,流量控制精密,操作简单直观;真空系统采用高品质双极旋片真空泵,真空度可达1.0E-1Pa,*CVD晶体生长实验的需要。
二维硫化钼生长设备用途:
本产品主要应用于二维材料的CVD法生长实验,尤其适合二维硫化钼的制备。
二维硫化钼生长设备技术参数:
预热炉 | 产品型号 | CY-O1200-100I-T-S |
炉膛长度 | 300mm | |
加热区长 | 200mm | |
恒温区长 | 100mm | |
工作温度 | 0~1100℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温模式 | 30段或50段程序控温 | |
显示模式 | LCD(高清全彩触摸屏) | |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
单温区管式炉 | 产品型号 | CY-O1200-100I-T |
炉膛长度 | 440mm | |
加热区长 | 400mm | |
恒温区长 | 200mm | |
工作温度 | 0~1100℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温模式 | 30段或50段程序控温 | |
显示模式 | LCD(高清全彩触摸屏) | |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
炉管 | 炉管材质 | 高纯石英 |
炉管长度 | φ100mm x 1800mm | |
密封方式 | 304不锈钢真空水冷法兰 | |
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头 | |
供气系统 | 两路质子流量计 | 北京七星华创,质子流量计 |
流量范围 | MFC1量程:0~200SCCM MFC2量程:0~200SCCM | |
测量精度 | ±1.5%F.S | |
重复精度 | ±0.2%FS | |
线性精度 | ±1%F.S. | |
响应时间 | ≤4s | |
工作压力 | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
流量控制 | LED高亮数码管显示,按键调节 每路气体含有针阀单独控制 | |
进气接口 | 可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 | |
出气接口 | 可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 | |
连接方式 | 双卡套接头 | |
工作温度 | 5~45℃ | |
气体预混 | 配气体预混装置 | |
排气系统 | 机械泵 | 旋片泵 |
抽气速率 | 4L/S | |
排气接口 | KF16 | |
真空测量 | 电阻规 | |
极限真空 | 1.0E-1Pa | |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
抽气接口 | KF16 | |
轨道 | 轨道长度 | 1.8m~2m 能实现两个炉子一个炉位长度的滑动,实现快速升降温 |
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