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详细介绍
详情介绍：
样品台 | 尺寸 | 150mm | 加热温度 | ≤500℃ |
| 旋转速度 | 1-20r/min | 控温精度 | ±1℃ |
磁控溅射头 | 数量 | 2英寸 x1 | 冷却方式 | 水冷 |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ270mm X 200mm | 观察窗口 | 全向可视 |
| 腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖拆卸式 |
真空系统 | 机械泵 | CY240 | 抽气接口 | KF16 |
| 抽气速率 | 1.1L/s |
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| 分子泵 | CY600 | 抽气接口 | KF40 |
| 抽气速率 | 600L/s | 排气接口 | KF40 |
| 真空测量 | 电阻规+电离规 |
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| 极限真空 | 10-5Pa数量级 | 供电电源 | AC;220V 50/60Hz |
电源配置 | 直流电源数量 | 1台 | 输出功率 | ≤500W |
| 输出电压 | ≤600V | 响应时间 | ＜5ms |
| 射频电源数量 | 1台 | 输出功率 | ≤1000W |
| 功率稳定度 | ≤5W |
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膜厚监控系统 | 膜厚仪测量分辨率 | ±0.03Hz | 测量精度 | ±0.5% |
| 测量上限 | 50000 | 测量速度 | 100~1000ms |
水冷系统 | 水箱容积 | 9L | 流量 | 10L/min |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机功率 | 3kw（主机+真空泵） |
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