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详细介绍
详情介绍：
1200℃高真空迷你CVD设备该组CVD设备为小型化CVD系统，核心是一款迷你管式炉，采用电阻丝加热，设备*高温度可达1200℃。仪器还包含一台三路浮子流量计，一台分子泵组，分别构成了CVD的进气和出气部分。
特点
1. 炉管右侧有数显真空计，用以控制炉管内部的真空度和气氛环境。
2. 系统采用PID智能控温，控温精度能达到±1℃。
3. 管式炉在操作上采用温控表操作，可预设控温曲线，
4. 一键启停，便于使用，能够简化实验操作进而节约试验时间。
5. 高真空分子泵组可以有效提高本低真空度，提高反应产物的质量。
技术参数
| 1200℃迷你管式炉 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加热温区 | 单温区200mm | |
| 恒温区长 | 100mm | |
| 加热元件 | 耐热合金丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
| 工作温度 | ≤1150℃ | |
| 升温速率 | 建议≤10℃/min | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线，带有过热和断偶保护 | |
| 炉管材质 | 高纯石英 | |
| 炉管尺寸 | φ50mm O.D x 450mm L | |
| 真空泵 | 机械泵 抽速1.1L/s | |
| 极限真空 | 5Pa |
| 三路浮子流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
| 气路数量 | 三路 | |
| 承压范围 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | 160 SCCM (Air) | |
| 混气罐容积 | 750mL | |
| 气路材料 | 304不锈钢 | |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接头 |
| 分子泵组参 | 产品型号 | CY-GZK103-A | |
| 分子泵 | 涡轮分子泵 | ||
| 前极泵 | 双极旋片泵 | ||
| 抽气速率 | 分子泵：6000L/S | 综合抽气性能： 30分钟真空度可达：5×10E-3Pa | |
| 旋片泵：1.1L/S | |||
| 极限真空 | 5×10E-4Pa | ||
| 抽气接口 | KF40 | ||
| 排气接口 | KF16 | ||
| 真空测量 | 复合真空计 | ||
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