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详细介绍
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列
可用于大尺寸晶圆和FPD。
通过组合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
大容量atm左右，可实现高压泵送。
适用于大型L/L箱。
溶剂抽空泵也排好了。
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列规格
型号 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36E60 | SDL3600 | |||
排气速度 [L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 60,000 | |||
极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | ||||
电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200～220V, 380～480V | ||||||
曲线图
行业应用：
半导体制造、液晶显示制造、真空干燥、真空填充、锂电池干燥、分子泵前级泵、质谱仪、加速器等。
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