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详细介绍
这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
- GSL-3F适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体切换使用，而不会造成大气进入加热管。
- 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
- 显示流量准确，可有效控制气体消耗量。
| 序号 | 品名 | 型号 | 数量 |
| 1 | 截止阀 | 160p | 4只 |
| 2 | 浮子流量计 | 10-100ml/min | 1只 |
| 16-160ml/min | 1只 | ||
| 25-250ml/min | 1只 | ||
| 3 | 混气罐 | ф80×140mm | 1个 |
| 4 | 压力真空表 | (ф60)-0.1∽0.15Mpa | 1块 |
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