制药网
详细介绍
GSL-3Z可以用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在GSL-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
| 功能模块 | 项目 | 参数 |
| 混气系统 | 质量流量控制器
| 工作电压:：185~245V/50Hz 输出功率：18W 控制范围：
工作温度：5~45 ºC 压力：3x106 Pa 准确度：±1% FS |
| 机械压力表 | 测量范围： -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) | |
| 针阀 | 316不锈钢 | |
| 混气罐 | Φ80X120mm | |
| 截止阀 | Φ1/4”316不锈钢针阀 | |
| 尺寸 | 600x600x650 mm |
制药网