OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃单温区三通道混气CVD系统

高温炉壳体

• 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃
• 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率

2.5 KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

加热元件

掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其延长使用寿命）

工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

升温速率

<= 20 ℃

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热区长度

400 mm

恒温区长度

150 (+/-1 ℃)

控温系统

PID30段程序化控温

控温精度

+/- 1 ℃

真空密封系统

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），漏气率6 mtorr/min

真空泵

采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。

数字式真空显示计

• 美国进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上，测量范围为10-4Torr~1000Torr
• 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

混气系统

• 三个浮子流量计(准确率4%FS)
• 三路浮子量程分别为
• 10-100 cc/min.
• 16-160 cc/min.
• 25-250 cc/min
• 内部安装有一混气罐

尺寸

• 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
• 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重

约60kg

运输重量

200

质保期

一年质保期（不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件）

CE Certificate